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エタロン
エタロン
製品パラメータ
| 仕様 | ソリッドエタロン | エアギャップエタロン |
| 材料 | 溶融シリカ、ゼロデュア | |
| 寸法許容差 | +0/-0.1mm | |
| 厚さの許容差 | +/-0.01mm | |
| 表面品質 | 10-5 S/D | |
| 不規則性 | 20@632.8nm | |
| 平行度 | <0.5秒角 | |
| 反射率 | 99.60% | |
| FSR(フリースペクトルレンジ) | 25GHz~500GHz | |
製品紹介
ファブリペロー エタロンまたは干渉フィルターとしても知られるエタロンは、高解像度の干渉分光機器です。エタロンの動作原理は、マルチビーム干渉現象に基づいています。光がエタロンを通過するとき、2 つの平行なミラー面の間で複数回の反射と透過が行われ、複数のコヒーレント光ビームが形成されます。これらのコヒーレント光線は空間内で互いに干渉し、干渉パターンを作成します。干渉縞の変化を観察することで、スペクトル解析や波長校正が可能になります。通常、一定のエアギャップを持つか、間に透明な媒体が充填された、一対の平行な高精度平面ミラーで構成されます。エタロンの主な用途には、スペクトル分析、波長校正、レーザー モードの選択などがあります。エタロンはその構造により以下の2種類に分類されます。
エアギャップ ファブリ ペロー エタロン (AFPE): このタイプのエタロンの核となるのは、一定のエア ギャップを持って平行に配置された一対の高精度平面ミラーです。このタイプのエタロンは構造がシンプルで使いやすく、比較的安価であるため広く普及しています。
ソリッド ファブリ ペロー エタロン (SFPE): エアギャップ エタロンとは異なり、ソリッド ファブリ ペロー エタロンはモノリシック石英デバイスです。製造工程において2つの鏡面の平行度が保証されており、特に使いやすいです。さらに、固体ファブリーペローエタロンはコンパクトで頑丈であり、占有スペースが最小限であるため、レーザーキャビティ内のモード選択や光通信における波長分割多重などの用途に適しています。